Технология микроэлектронных устройств

Справочник посвящён технологиям изготовления микроэлектронных устройств (МЭУ). В книге рассмотрены: механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств; методы выращивания монокристаллов, фьюзии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких плёнок, литографии, сборки и герметизации; параметры материалов и оборудование для технологических процессов; вопросы контроля, обеспечения качества и надёжности при изготовлении МЭУ. Книга предназначена для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ. Книга написана как комплексное справочное издание, заполняющее пробел в литературе по базовым технологическим процессам производства МЭУ (от создания монокристаллических материалов до сборки и герметизации устройств); при написании использовано более 100 зарубежных литературных источников; Автор: Готра Зенон Юрьевич. ISBN: 5-256-00699-1. Год выпуска: 1991. Кол-во стр.: 528 страниц с иллюстрациями.