Интегральные схемы: Материалы, приборы, изготовление

Книга американских специалистов У. Тилла и Дж. Лаксона посвящена фундаментальным и прикладным аспектам создания интегральных схем. В издании рассмотрены:

• методы введения примесей в полупроводники;
• технологии выращивания эпитаксиальных плёнок;
• теория и свойства диодов, биполярных и полевых транзисторов;
• процессы производства интегральных схем (включая литографию, диффузию, ионное внедрение);
• методики испытаний готовых изделий.

Книга структурирована по 14 главам, охватывающим как базовые физические принципы (энергетические зоны, фазовые диаграммы, диффузия), так и практические аспекты (производство биполярных и МОП-схем, монтаж, тестирование). Содержит предметный указатель.

Предназначена для специалистов в области электронной техники, схемотехники, автоматики, а также студентов соответствующих специальностей вузов.

Оригинальное издание (Integrated Circuits: Materials, Devices, and Fabrication) опубликовано в США в 1982 году. Русское издание выпущено в 1985 году издательством «Мир» в серии литературы по информатике и электронике.

Перевод выполнен М. Б. Левиным и В. Г. Микуцким под научной редакцией канд. техн. наук М. В. Гальперина. Издание было актуально для советской электронной промышленности, так как заполняло пробел в литературе по физическим основам создания ИМС — большинство публикаций того времени фокусировалось на применении, а не на производстве микросхем.

• Авторы: Уильям Тилл (William C. Till), Джеймс Лаксон (James Laxson) — американские специалисты в области микроэлектроники.
• Переводчики: М. Б. Левин, В. Г. Микуцкий.
• Научный редактор: М. В. Гальперин (канд. техн. наук).
• Издательство: «Мир», Москва.
• Год издания: 1985.
• Объём: 501 страница.
• Серия: Редакция литературы по информатике и электронике.