Выбрать
Описание
Характеристики
Отзывы
Описание
В книге рассматривается комплекс вопросов, связанных с влиянием различных загрязнений на качество кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем при производстве по эпитаксиально-планарной технологии. Изложены требования к условиям производства и технологическим средам. Подробно описаны способы обеспечения и контроля чистоты технологических сред и поверхностей изделий при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Книга предназначена для работников, связанных с производством полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Характеристики
Год выпуска
1975
Страна производства
Россия
Жанры/тематика
Научно-популярная литература
Обложка
мягкая
Букинистическая сохранность
хорошая
Отзывы
Отзывов еще никто не оставлял
