Учебное пособие посвящено основным вопросам технологии и конструирования интегральных микросхем. В книге описаны: — процессы планарной технологии полупроводниковых ИС; — технологические процессы производства плёночных ИС; — методы проектирования элементной базы и конструирования ИС в целом; — конструктивно-технологические особенности БИС. Пособие включает 17 глав, охватывающих основы планарной технологии, обработку кремниевых подложек, легирование кремния, эпитаксиальное наращивание слоёв, фотолитографию, проектирование транзисторов, диодов, пассивных элементов, конструирование полупроводниковых и гибридных ИС и др. Также содержит приложение, список литературы (27 назв.) и предметный указатель. Предназначено для студентов радиотехнических и радиофизических специальностей вузов, а также для специалистов в области создания интегральных микросхем и радиоэлектронной аппаратуры.
